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Ferrotec系列：硅熔接產(chǎn)品與硅制精密產(chǎn)品

Ferrotec（中國）硅熔接和硅精制品致力于為半導體硅片處理工藝中提供理想的硅片承載工具，減少硅片金屬污染，錯位等缺陷，以及為半導體前沿工藝提供突破性解決方案。主要為硅片高溫處理和LPCVD沉積工藝，提供高純度的多晶硅舟，保溫筒，噴射管等；為半導體蝕刻機提供硅環(huán)，showerhead等產(chǎn)品。

SiFusion產(chǎn)品

應(yīng)用于各類半導體硅片表面處理工藝設(shè)備中，如氧化、退火、CVD工藝等。由于硅舟和硅片均使用高純硅材料，具有相同的物理性質(zhì)，因此可以避免因為熱膨脹系數(shù)和熱導系數(shù)不同，造成的晶格錯位，提升硅片良率。Ferrotec針對客戶工藝中的問題，對產(chǎn)品進行獨特的設(shè)計，為客戶解決硅片背面劃傷，晶格位錯，金屬污染和顆粒問題。

長齒舟

熔接多晶硅舟是為擴散工藝設(shè)計的，可替代現(xiàn)有的石英和碳化硅產(chǎn)品，代表的是高純度高性能的技術(shù)。它對消除顆粒至關(guān)重要。消除這些影響以提高良率，使得硅熔接舟成為新一代集成電路架構(gòu)中重要的載體.

短齒舟

消除這些影響以提高良率，使得硅熔接舟成為新一代集成電路架構(gòu)中重要的載體.

橫型硅舟

同時硅舟配套噴射管、保溫桶及內(nèi)管等輔助配套產(chǎn)品均可生產(chǎn)。

噴射管

可與硅舟配套使用

保溫桶

可與硅舟配套使用

擋片

硅部件產(chǎn)品

Ferrotec（中國）精密硅制品采用德國Wacker，美國REC半導體級別的Floatzone等材料，生產(chǎn)加工成各種類型的硅部件，為客戶的工廠的產(chǎn)能利用率、生產(chǎn)效率及產(chǎn)量提供更多優(yōu)勢。

硅聚焦環(huán)

主要規(guī)格有8寸與12寸，可按照客戶要求加工不同尺寸和外觀要求的硅環(huán)產(chǎn)品。應(yīng)用于半導體硅片干法刻蝕工藝設(shè)備，F(xiàn)erroTec整合了硅材料拉制，產(chǎn)品加工和洗凈，使得產(chǎn)品更具有品質(zhì)，成本，交期和優(yōu)勢。